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Polier- und mikroskopische Charakterisierung von Goldlegierungsblechbeschichtungen für mikroelektronische Verpackungen

Goldlegierungsblätter beziehen sich im Allgemeinen auf dünne Blechmaterialien aus Goldlegierung, die zum Anschließen, Befestigen oder Verpackungen elektronischer Komponenten usw. verwendet werden. Aufgrund der extrem hohen elektrischen Leitfähigkeit, einer guten thermischen Leitfähigkeit, der hohen chemischen Stabilität, der guten Flexibilität und der Duktilität von Gold, der Oberfläche der Goldlegierungsblätter wird bei der Herstellung von Goldenverpackungen und der Herstellung von goldenkolbener Verpackung und der Herstellung von Opttoelektrisch-Entwicklungen weit verbreitet.

Um die Dicke der Beschichtung auf den Goldlegierungsblättern zu messen, werden sie jetzt zur Probenvorbereitung poliert: Da die Probengröße sehr klein und leicht ist, wird die Probenprobenhalterin zur Fixierung verwendet, um zu verhindern, dass die Probe im flüssigen Epoxidharz schwimmt.


Transparente langsame Epoxidharz TJ2226 wird mit dem THETAMOUNT-Druck Erkältungsemaschine für die Kalteinbettung kombiniert, und anschließend wird die Probenvorbereitung auf der Dual-Control-Dual-Disc-Poliermaschine von Alpha 208 durchgeführt. Die spezifischen Schritte sind wie folgt:
1. Planare Schleifen mit Siliziumkarbid -Sandpapier P800/P1200/P2000
2. grobes Polieren mit YS Polishing Tuch 3-Micron Diamond Polishing Suspendierung
3. Polieren mit ET-Polierstoff 1-Mikron-Aluminiumoxid-Polierhängung


Die Beobachtung wird unter Verwendung des mn80-metallographischen Mikroskops durchgeführt, und wenn es auf das 500-fache vergrößert ist, kann die graue Beschichtung auf der Probenoberfläche deutlich beobachtet werden, mit einer Dicke von 2-3 μm. Die Goldbeschichtung muss auf eine höhere Vergrößerung des SEM -Scan -Elektronenmikroskops vergrößert werden, um sichtbar zu sein.

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